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氦 離 子 束 實 驗 室

成立背景：
         氦離子束顯微鏡（Helium Ion Beam Microscope, HIM）由台積電—臺灣大學聯合研發中心購置，原用於執行科技部產學大聯盟計畫「7–5 nm 半導體技術節點研究」。為落實政府資源投入效益，計畫結束後該大型儀器即對外開放服務，以促進儀器資源共享與學研產業應用。

儀器基本規格：

  • Resolution : 0.5 nm

  • Beam energy : 10~30 KV

  • Beam current : 0.1~100 pA

  • Time to transport sample : 3 min

  • Stage travel : x=50 mm, y=50 mm, z=8 mm

  • Rotation : 0~360∘

  • Tilt : 0~56∘

  • Field of view : 900 um~100 nm @ 8 mm work distance

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服務項目

 A.製圖, 影像掃描  
     pattern, microscope

- 學界 : 3,500 / 時  
- 業界:  7,500 / 時  (未稅)

 B. 圖案加工
     lithography

- 學界 :   4,500 / 時  

- 業界 : 15,000 / 時  (未稅)

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​影片介紹- HIB Laboratory

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  Contact 

   服務時間: 

   星期一 : 13:00~17:30

   星期二至星期五 : 9:00~12:00 & 13:00~17:30

預約與技術諮詢 (02)3366-3700*133  葉小姐  |   E-mail:  yingsiouye@ntu.edu.tw 

行政與帳務洽詢 (02)3366-1794          梁小姐  |   E-mail:  gillliang@ntu.edu.tw

台積電-台大聯合研發中心網站  http://tsmccenter.ntu.edu.tw/

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