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成立背景：
氦離子束顯微鏡（Helium Ion Beam Microscope, HIM）由台積電—臺灣大學聯合研發中心購置，原用於執行科技部產學大聯盟計畫「7–5 nm 半導體技術節點研究」。為落實政府資源投入效益，計畫結束後該大型儀器即對外開放服務，以促進儀器資源共享與學研產業應用。
儀器基本規格：
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Resolution : 0.5 nm
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Beam energy : 10~30 KV
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Beam current : 0.1~100 pA
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Time to transport sample : 3 min
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Stage travel : x=50 mm, y=50 mm, z=8 mm
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Rotation : 0~360∘
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Tilt : 0~56∘
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Field of view : 900 um~100 nm @ 8 mm work distance
服務項目
影片介紹- HIB Laboratory
Contact
服務時間:
星期一 : 13:00~17:30
星期二至星期五 : 9:00~12:00 & 13:00~17:30
預約與技術諮詢 (02)3366-3700*133 葉小姐 | Email: yingsiouye@ntu.edu.tw
行政與帳務洽詢 (02)3366-1794 梁小姐 | Email: gillliang@ntu.edu.tw
台積電-台大聯合研發中心網站 http://tsmccenter.ntu.edu.tw/
地址: 台北市大安區羅斯福路四段1號電機二館133室
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