成立背景：
氦離子束顯微鏡(Helium Ion Beam Microscope, HIM)係由台積電—臺灣大學聯合研發中心
為執行科技部產學大聯盟計畫「7-5 nm半導體技術節點研究」所購置，
為使政府經費投入所採購之大型儀器設備得以資源共享，爰於該計畫結束後對外界開放服務。
儀器基本規格：
Resolution : 0.5 nm
Beam energy : 10~30 KV
Beam current : 0.1~100 pA
Time to transport sample : 3 min
Stage travel : x=50 mm, y=50 mm, z=8 mm
Rotation : 0~360∘
Tilt : 0~56∘
Field of view : 900 um~100 nm @ 8 mm work distance
服務項目
1. 影像觀測-代客操作
HIM操作影片
服務項目
影像觀測-代客操作
項目 收費標準(時)
學界 – 中心老師
學界 – 台大電機學群/材料系/物理系老師
學界 – 其他
業界
1000
2000
3500
10000
業界-夜間加價
15000
視實際情況,將不定期修正收費標準
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服務時間:
星期一 : 13:00~17:30
星期二至星期五 : 9:00~12:00 & 13:00~17:30
預約電話:
(02)3366-3700*133 黃博士 / (02)3366-1794 梁小姐
台積電-台大聯合研發中心網站:
地址:
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